中圖儀器SuperViewW1光學檢測設備輪廓儀主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓尺寸,，此外具有測量晶圓翹曲度的功能,，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,，應變測量以及表面形貌測量,。

主要應用領(lǐng)域

1、用于太陽能電池測量,；

2,、用于半導體晶圓測量；

3,、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量,；

4、用于機械部件的計量,；

5,、用于塑料，金屬和其他復合型材料工件的測量,。

SuperViewW1光學檢測設備輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應用于光學,，半導體,，材料，精密機械等等領(lǐng)域,?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準,。

產(chǎn)品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

部分參數(shù)

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復性：0.1nm

表面形貌重復性：0.1nm

臺階測量:重復性：0.1% 1σ,；準確度：0.75%